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高純氣體廣泛用于電子器件生產(chǎn)工藝中。按工藝中高純度氣體的不同用途，可將其分為保護(hù)氣、反應(yīng)氣和載氣，用作保護(hù)氣的有氫氣、氮?dú)?、氧氣及其混合氣。在?guó)內(nèi)為獲取氫氣和氨氣，為獲得較高純度的氫氣，一般都采用電解純水的方法制取。這種方法需用大量電能來(lái)電解水，一般達(dá)4.5~5.5kWh/Nm3H2，致使成本很高。

為減少電能消耗，降低成本，都在研制和應(yīng)用各種混合氣。其中，氮?dú)浠旌蠚鈱⒊蔀殡娮悠骷a(chǎn)應(yīng)用中的“福音”。以應(yīng)用氮?dú)浠旌蠚饩佣?。?guó)外多采用液態(tài)氫和液態(tài)氮汽化法獲得氮?dú)浠旌蠚?，也有采用液氮分解法獲得氮?dú)浠旌蠚獾摹?/p>

用液氫和液氮汽化來(lái)獲得氮氧混合氣的方法，由于采用了液化后再汽化的工藝，故其投資和成本均較高。國(guó)外，由于生產(chǎn)的專業(yè)化程度高，使用單位多采用這種方法獲得混合氣。國(guó)內(nèi)若從專業(yè)廠或大型聯(lián)合企業(yè)的副產(chǎn)物獲得液氫和液氮，其成本要比電解氫和“空分”氮獲得的氫氣與氯氣高出幾倍。由液氨分解獲得的氮氧混合氣，由于液氮來(lái)源不同，大多數(shù)質(zhì)量較差，其中仍含有未分解的氨、水和氧等雜質(zhì)。此外，液氮多來(lái)源于化肥廠，目前，供應(yīng)上較緊張，故成本也較高。

氮?dú)浠旌蠚獠粌H可在生產(chǎn)電子器件時(shí)取代氧氣用作保護(hù)氣，還可廣泛用于冶金、化工、機(jī)械等行業(yè)。一旦廣泛推廣應(yīng)用，必將產(chǎn)生可觀的經(jīng)濟(jì)效益和社會(huì)效益。